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创新是自尊
—— 记上海微电子装备有限公司总经理贺荣明
2013年05月08日  作者:茅永民   编辑:chunchun   审核:刘纯  版面:B2

简介

  贺荣明,1961年12月生。1984年毕业于上海同济大学机械工程管理系。2001年毕业于上海华东师范大学区域经济研究生院,获工商管理硕士学位。高级工程师。2002年起受上级委派组建上海微电子装备有限公司,担任总经理、董事长兼总经理等职,先后承担国家科技部“十五”重大科技专项100nm高端光刻机的研制、国家02科技重大专项90nm光刻机的研制任务,任项目负责人和国家光刻设备工程技术研究中心主任。2007年获上海市人民政府 “上海市科技领军人才”,2010年12月国家科技部和国家02专项实施管理办公室授予“国家计划执行突出贡献奖”。2012年获全国“五一”劳动奖章。

十年磨一剑

  “什么是‘光刻机’?还要是‘高端’的。”外行人肯定被问得云里雾里。贺荣明介绍说,要把一块体积小巧、功能强大的集成电路芯片制造出来,除了卓越的电路设计外,更离不开将设计图形转换成高性能芯片的制造设备,而其中最为关键的设备就是光刻机。在摩尔定律的推动下,光刻机的精密程度走向以纳米为单位。人们常说,制造一块芯片,其精细程度比在一根头发丝上“绣花”还要高。他更形象地比喻说:用光刻机在硅片上刻电路,如同在一架时速1000公里的飞机上向另一架以同样时速飞行的飞机上写米粒大的字,同步精度在3纳米左右。要制造出如此高精度的芯片,对光刻机本身的各项精度要求就更高,以重要零件镜片面形误差为例,必须在5纳米以内,相当于整个足球场的高低误差不超过0.5毫米。

  10年前,浦东“张江高科技园区”,还是一方浅浅的鱼塘,是贺荣明与十几名员工出发的起点,他们不再顾盼大都市的繁华,10年如一日默默地扎根这里,为早日实现“制造中国人自己的光刻机”的梦想,贡献着青春岁月。贺荣明告诉我们,我国每年最大宗的进口物资不是石油,也不是粮食,而是集成电路、高端芯片、成套工艺及高端装备。长期以来,我国集成电路行业从制造工艺到装备再到材料,都严重依赖进口,每年进口额高达1200亿美元。随着信息社会的发展,手机、电脑、电视等各种电子移动终端都离不开集成电路,也就是通常所说的“芯片”。而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。

  2002年上海微电子装备有限公司成立之初,我国从事光刻机研究的人员很少,相关基础很弱,国内集成电路生产用光刻机全部依赖进口,并且还受到不同程度的限制。2002年3月,一批风华正茂的年轻人,怀揣着科技报国梦想和一颗不服输的心,从祖国的四面八方来到上海微电子装备有限公司,在贺荣明的带领下,开始了中国人研制高端光刻机的艰辛历程。认识到光刻机战略实施对建设创新型国家战略的重要性,在国内各方面基础条件均不太完善的情况下,他们精心组织团队,卧薪尝胆、不断创新、十年磨一剑,取得了多项开创性成果。

  放眼世界,集成电路作为信息产业的基础和核心,是国民经济和社会发展的战略性产业,在推动经济发展、社会进步、提高人民生活水平以及保障国家安全等方面发挥着重要作用。是否能用自己的关键装备生产集成电路,已成为当前国际竞争的焦点和衡量一个国家或地区现代化程度以及综合国力的重要标志。

  首台先进封装光刻机于2009年实现销售,在用户生产线运行至今,连续封装了几十万片硅片,得到客户较高的评价和认同。目前该系列产品已形成小批量产能,并实现了海外市场整机销售零的突破,获得大批市场订单。先进封装光刻机获国家2010年度产学研合作创新成果奖、中国半导体行业2010年度创新技术产品成果奖、国家2011年度重点新产品项目、上海市2010年度技术发明二等奖。“如果10年前我知道搞光刻机有这么艰难,可能就不会坚持到今天。”面容显得有些疲惫的总经理贺荣明玩笑间流露出创业的艰辛。

光刻机精神

  “干我们这行当太单调,所以首先要耐得住寂寞!”贺荣明说,“我们在上海这个大都市里,外面的诱惑太多了。我们不但需要连续攻克科技难关,还要塑造企业文化,让我们的人才留得住。”通过10年的持续努力,上海微电子装备有限公司培养和汇聚了一批光刻机总体设计、系统集成及关键技术单元、复杂大型项目的管理等专业技术管理人才近千人,团队中拥有国家“千人计划”和上海市“千人计划”等专家。

  “10年前,有国外公司放言,就是把整套图纸给你们,你们也做不出。10年后,通过在光刻机方面的科技突破,公司已具备复杂大系统过程控制与工程实现能力。” 总经理贺荣明对此深有感触。10年来,从跟踪国际专利到不断掌握具有完全自主知识产权的高端光刻设备的总体设计技术、集成技术和关键单元技术,并形成系列完整的产品,上海微电子装备有限公司填补了国内光刻机在该领域的空白,并且在国际同类产品中处于先进水平,大大缩短了我国半导体设备与国外的技术差距。

  光刻机人才既需要丰富雄厚的基础理论知识,又需要长时间积累的实际经验;既需要系统工程师,也需要高级技工等高水平的能工巧匠。而光刻机顶尖人才被少数公司垄断,且鲜有高端光刻机海外华人人才,光刻机高端人才流动困难,且受国外政府监控。因此,光刻机人才在少量引进的情况下主要依靠自身的培养。

  通过几年的持续努力,公司培养和汇聚了光刻机总体设计、系统集成及关键技术单元、复杂大型项目的管理等专业技术管理人才近千人,并在海外设立了技术研发基地,为国产光刻机的研发、产业化提供技术支持和技术决策咨询。

  这些经过不断锤炼形成的人才团队,是国家和上海的财富,也是提升上海先进制造业和高技术装备的生力军。

  贺荣明在人才培养上也有独到举措。他把人才培养比喻为高楼大厦的“隐蔽工程”,认为只有地下工程的基础扎实了,万丈高楼才能坚固。他表示,公司培养人才的目标有三个层次:一是培养一批能解决工程难题的一流工程师队伍,二是培养一支研发光刻机的国家级团队,三是培养一支能与国外一流团队PK的国际化研发团队。他用“创新是一种自尊”“坚守是一种美德”的企业文化激励科技人员耐得住寂寞、吃得了千辛万苦,在艰难的科技攻关征途上不断攀登新高峰。同时,他坚持顶层设计、制度安排,每年选送一批科技人员远赴海外学习,推荐科技人员到国际顶级论坛“谈剑论道”发表论文,让科技人员在“战争中学会打仗,在战争中成长为将军”。现在,公司研发团队的平均年龄仅32岁,管理骨干的平均年龄为36岁,按工程师生命周期理论,这支队伍完全可以承担“十二五”“十三五”期间国家重大专项攻关任务,再攀微电子装备领域新高峰。

  贺荣明始终注重系统集成技术与系统组织能力的培育。他系统地学习美国宇航局和波音公司管理技术系统的方法,以及国内神舟飞船技术攻关和技术管理的经验,把人才作为发展的基础,但又不依赖于个人,注重发挥团队的力量,将不同技术、性格,地域和文化背景的人组织在一起,点上创新、面上集成,形成有集成能力的原始创新技术。现在,美、日、俄、法、英等国的一流企业也成为公司研发链条上的一个组成部分,开展多兵种联合作战,攻克一个个技术难关,取得一个个技术突破。经过10年积累,公司掌握了大量核心技术并拥有了一批自主知识产权,已申报专利1000多项,获得专利授权300多项。公司不仅是上海市的高新技术企业,还是上海市专利工作和知识产权示范企业。

沿途下蛋

  10年前,上海微电子装备有限公司在国际同行面前名不见经传。10年后,上海微电子装备有限公司的技术逼近世界先进水平,跻身世界前列,在国际舞台上频频发出自己的声音,并不断赢得国际同行和合作伙伴的重视。“成功的花儿,人们只惊羡她现时的明艳!然而当初她的芽儿,浸透了奋斗的泪泉,洒遍了牺牲的血雨。”10年后,从无到有,突破一道道技术难关,如今的上海微电子装备有限公司,已成为世界上继欧洲和日本3家光刻机公司之后的少数掌握高端光刻机系统设计与系统集成技术的公司,引领“中国智造”不断走向世界。光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备,在国家“十五”“十一五”“十二五”发展规划中都被明确定义为重点制造装备,并列入国家02科技重大专项。

  公司独特的“文档化”管理模式和优秀的企业文化,源源不断地吸引着国内外高素质人才竞相到来。如今,公司的人才结构更加合理,硕士、博士学历的员工比例达50%以上,包括一大批“千人计划”人才、“领军人才”、专业工程师、高级技工。“70后”“80后”员工是人才团队的中坚力量,并涌现了一部分勤于钻研、乐于奉献的“90后”员工。年龄结构合理的高素质人才团队,为上海微电子装备有限公司增加了底气。

  自主设计、制造和集成的国内首台高端投影光刻机于2007年问世,使国内高端光刻机的水平在原有样机基础上实现了几代的跨越和重大突破。首台先进封装光刻机于2009年下半年实现销售并上用户生产线运行至今两年多,连续封装几十万片硅片,设备性能稳定,得到客户较高的评价和认同。目前,该系列产品形成小批量产能。光刻机的研发成本相当高,国际巨头仅一年的研发资金就逾5亿欧元,一般的公司根本难以为继。光刻机专业人才的培养更需要漫长的时间,培养一名专家型光刻机工程师国外一般要花17年时间。贺荣明说,在摩尔定律的推动下,充满挑战的尖端技术、国内匮乏的人才和研发资金、西方技术强国的垄断和限制,成为限制国产光刻机快速发展的桎梏。

  公司与高校、科研院所和客户紧密协作,采取边研发边应用的模式,把技术优势转化成产业优势。贺荣明形象地指出:“将贵族型产品变成平民化产品,我们通过自主创新及时把阶段性成果转化为市场应用性项目,即‘沿途下蛋’,开发出比国际光刻机设备技术超前的产品,逐鹿市场竞争,在快速产业化方面闯出了一条新路。”

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